内容摘要： 日本三菱机电开拓出了输入功率增至10W的深紫外激光器，并在研发下场往事宣告会上妨碍了揭示。这种波长213nm的深紫外激光器有望在空气中用于加工玻璃等光学器件。输入功率抵达了艰深工业用水平10W，原产

    日本三菱机电开拓出了输入功率增至10W的菱开璃行深紫外激光器，并在研发下场往事宣告会上妨碍了揭示。拓出这种波长213nm的紫外深紫外激光器有望在空气中用于加工玻璃等光学器件。输入功率抵达了艰深工业用水平10W，激光原产物的器用输入功率为5.6W。可实现高速加工所需的于加业资10kHz以上的脉冲激光。接管该激光器的工玻加工配置装备部署的投产日期尚未判断，估量“约莫5年后将会有这种需要”（该公司教学员）。菱开璃行
    由于深紫外激光的拓出波长短，适宜于组成直径为10～20μm的紫外微孔等微细加工。除了用于玻璃加工外，激光还可用于印刷电路板的器用微细加工。在加工印刷电路板等的于加业资树脂时，接管转换为树脂可罗致的工玻355nm波长的激光。当初，菱开璃行印刷电路板的打孔加工主要接管CO2激光。但由于这种激光的波长长达10μm，可加工的孔径较低限度为50μm。
    这次的深紫外激光器运用波长为1064nm、输入功率300W的红外激光光源，接管非线性光学晶体硼酸铯锂（CLBO），把波长转换为213nm。首先把1064nm的红外激光转换为532nm，而后再转换为266nm的紫外激光，较后转换为213nm的深紫外激光。为后退这次激光的输入功率，削减了向紫外以及深紫外激光转换波长的CLBO晶体中的杂质。原本接管的晶体，当输入功率为5.6W时，就抵达了饱以及。其原因是激光被晶体中的杂质罗致、生热，晶体开始发生倾向。这次接管的CLBO晶体由大阪大学开拓。